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白光干涉仪是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，

通过系统软件对器件表面 3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的

光学检测仪器。可获得材料粗糙度、薄膜厚度、台阶高度等信息；二维/三维表面分析以及高分辨成像。